Успешно выполнен и сдан государственному заказчику второй этап ОКР по направлению SiGe эпитаксии
-
17.12.2010
ЗАО «Эпиэл» продолжает выполнение ОКР по разработке технологии изготовления эпитаксиальных структур диаметром 200 мм с кремний-германиевыми эпитаксиальными слоями для SiGe БиКМОП СБИС с проектными нормами 0,25-0,18 мкм.
На данный момент успешно выполнен и сдан государственному заказчику уже второй этап ОКР, в рамках которого разработаны проекты конструкторской и технологической документации.
Завершение работы в целом планируется на декабрь 2011 года.
