Техническая зона

Эпитаксиальные установки вынесены за пределы зоны загрузки в техническую зону, где допускается менее высокий уровень чистоты. В этом помещении производится техническое обслуживание эпитаксиальных установок.

Здесь также располагаются силовые генераторы установок и барботеры.